日本Fujikin富士金流量计水蒸气发生器-上海福尔兹阀门有限公司【官网】原上海开兹阀门——日本KITZ,KITZ阀门，BARDIANI,韩国COSMIC ROC,YOSHITAKE,VENN阀门,日本TLV,JOHNSON阀门,Honeywel阀门,原装进口/大量库存/工厂直销/价格优势

企业简介

上海福尔兹阀门有限公司（原上海开兹阀门有限公司）成立于2009年6月。是一家专业销售进口阀门、高品质阀门及执行机构之企业。凭借多年的稳定市场销售和良好信誉，与国外众多知名生产厂家建立了稳定的合作关系。我们的技术服务部门，可以为您提供专业技术水平的全方位流体控制解决方案。我们从初的产品技术交流，产品选型直至现场安装调试指导以及售后服务都精心负责，信誉卓著。

公司提供国内外知名品牌：

日本进口阀门系列:日本VENN阀天阀门,日本KITZ开滋阀门,日本TOYO东洋,日本FUSHIMA富士曼,日本MIYAWAKI宫胁阀门,日本YOSHITAKE耀希达凯阀门,日本TLV阀门,日本TOZEN滔辰,日本OKM,日本TOSTE托斯特,日本SMC,日本CKD,日本KANGKO金子,日本HITACHI日立,日本SHOWA昭和,日本SB阀门

美国进口阀门系列:美国JOHNSON江森,美国Honeywell霍尼韦尔阀门,美国NIBCO尼必可,美国Bary博雷,美国ASCO,美国TALOAR泰勒，美国VTI,美国Flowserve福斯,美国WATTS沃茨

德国进口阀门系列:德国SIEMENS西门子,德国ROPO罗普,德国EBRO依博罗,德国SED,德国ARI艾瑞,德国IBP班尼戈,德国KSB凯士比,德国W&T维替,德国OVENTROP欧文托普,德国PECKWOMY

其它地区进口阀门系列：意大利BARDIANI巴典尼卫生级阀门,意大利ITAP,意大利LAPAR蓝帕,意大利GT,韩国COSMIC ROC柯斯米,韩国J.K朝光,英国Spiraxsarco斯派莎克,丹麦AVK埃维柯,丹麦DANFOSS丹佛斯,西班牙TTV,西班牙VYC,瑞典TA

国产知名品牌阀门系列：宁波AMICO埃美柯,浙江DOUBLE-LIN达柏林,上海良工阀门等。

我们有高品质的产品,我们有专业的技术,我们有专业的售后！买阀门！就找上海福尔兹阀门有限公司（原上海开兹阀门有限公司）。

联系人：林经理 13816681154（微信同号）

产品说明

MFC（流量计）

FCS-P系列（压力式流量计）

　　FCS即流量控制系统（Flow Control System），是专为确立近年来半导体制程中，越来越受重视的蚀刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的稳定性、再现性而开发出来的产品。基本操作原理有别于传统的质量流量计，这是一款经由压力控制，从而达到高精度流量控制目标的崭新产品。FCS 能克服气体供应系统所产生的压力变动或干扰等制程上不稳定的因素，提供给客户无限制且稳定的流量控制。

产品特性

●结构简单
FCS内部结构相当简单，且是个完全零死角的结构。
●卓越的压力变动特性
上游压力变动时，质量流量控制器输出值会呈现大幅度变化，但FCS则完全没有任何变动。
●采用流量参数（FLOW FACTOR）
采用流量参数，即可利用N2校正，是FCS对应各种气体。
●卓越的精准度
全流量10%以上时，精准度在设定点的±1.0%以下，反之则为全流量的±0.1%以下，精准度相当高。
●搭载流量异常诊断功能
●反应灵敏
●设置位置不受限（MOUNT POSITION FREE）
●对应DEVICE NET
经第三机构测试单位ODVA的测试，完全通过ODVA测试软体VerA-14的测试

FCS-P（压力式流量计）
可将FCS安装与IGS内，即可组成一个更小型、更具绝佳性能的气体供应系统。

FCS-T系列（热式流量计）

　　Fujikin_®Carp_®Group 通过多年经验技术的累积，近年成功研发出热传感式流量控制器。在拥有原有的压力式控制流量器FCS-P系列的基础上，Fujikin隆重推出了热式流量控制器FCS-T系列。不论是低端或是高端的要求，我们都有相对应的产品来满足客户的需要。
　

	T2000系列 T2000(压感阀Piezo Valve） ·无需气体选择的低温感应器 ·对应Devicenet ·金属密封

	T1000系列 T1000（电磁阀） ·T1000（M）Z：多气体多量程MFC ·T1000（M）F：高性能数字式MFC ·T1000（M）L：常用模拟性MFC ·T1200F、T1500F：数字控制大流量MFC ·T1000MF-HT：高温对应MFC ·UPC：自动压力控制器

WVG（水蒸气发生器）

　　1995年 Fujikin_®Carp_®Group突破传统燃烧式水蒸气发生器范畴，利用触媒反应，成功地开发出高纯度水蒸气发生器。经由不断耐用性等相关测试，取得各种数据，并经过不断地改良，终于成功地研发出目前所使用的水蒸气发生器（WVG）。和燃烧式水蒸气发生器相比，WVG由于可在低温状态下产生水蒸气，故除具备绝佳安全性外，还可实现无沾染目标。其次，流量、控制范围宽广的优点，受到目前各种制程的采用。

产品特性

●利用H2和O2流经反应炉后产生触媒反应而形成水蒸气，可在低温（350℃）的状态下产生水蒸气。
●浓度控制范围广泛——可控制1%～100%范围的水蒸气浓度，控制范围广且精度相当高。
●卓越的安全性——低温运作，且反应炉下方安装线上气体浓度侦测器（IN-LINE GAS SENSOR），当未反应气体浓度上升时，该侦测器会立刻发出警告或报警讯号。
●各种自动闭锁功能——当发生异常时，极其会自动传输警报讯号，并切断WVG加热器的电源。
●安全规格——符合CE标志。SEMI-S2规定
●超薄氧化膜控制（富氧制程类型O2 RICH TYPE）
●水蒸气发生条件——除可形成O2水蒸气外，还可形成H2水蒸气，故适用于“选择氧化”等新制程。
●使用压力条件——常压（0.2Mpa以下）。可自行选用制作减压、高压类型。
●无沾染——完全通过触媒反应形成水蒸气，故完全不会发生沾染情况。且配管采用SUS316L材质，连接部位采用UPG接头，保证持续稳定供应超高纯水蒸气气体。
●用途——可广泛用于扩散机台、RTP机台等热处理机台等各种制程范围。